_WELCOMETO Radioland

Главная Схемы Документация Студентам Программы Поиск Top50  
Поиск по сайту



Навигация
Главная
Схемы
Автоэлектроника
Акустика
Аудио
Измерения
Компьютеры
Питание
Прог. устройства
Радио
Радиошпионаж
Телевидение
Телефония
Цифр. электроника
Другие
Добавить
Документация
Микросхемы
Транзисторы
Прочее
Файлы
Утилиты
Радиолюб. расчеты
Программирование
Другое
Студентам
Рефераты
Курсовые
Дипломы
Информация
Поиск по сайту
Самое популярное
Карта сайта
Обратная связь

Студентам


Студентам > Рефераты > Расчет распределения примесей в кремнии

Расчет распределения примесей в кремнии

Страница: 3/6

 

 

 

1.2.3 Расчет распределения Si-Sb.

Расчет распределения сурьмы в кремнии будем производить аналогично расчету галлия в слитке кремния (пункт 1.2.1), при тех же условиях зонной плавки.

Переведем N0 в см-3. Атомная масса сурьмы = 121,7

N0=0,02 % (массовых) = 4,62×10-3 % (атомных) = 2,31×1018 см-3.

Для расчета эффективного коэффициента сегрегации kэфф воспользуемся выражением (4). Для сурьмы в кремнии k0=2,3×10-3 [1]. Отношение d/Dж=200 с/см из задания.

Подставляя значения k0, d/Dж, Vкр в (4), вычислим kэфф. Для трех скоростей кристаллизации Vкр=2,5×10-3; 8,33×10-3; 2,5×10-2 см/с соответственно получим kэфф=3,74×10-2; 0,11; 0,78.

Заполним расчетную таблицу.

Таблица 3  -  Распределение сурьмы и удельного сопротивления вдоль слитка кремния после зонной плавки (один проход расплавленной зоной).

Участок  зонной  плавки

Участок   направленной  Кристаллизации

 а

Nтв, см-3

r , Ом×см (по кривым Ирвина)

g  (a=10)

Nтв,  см-3

r , Ом×см (по кривым Ирвина)

Vкр=2,5×10-3 см/с

0

8,64 1016

0,11

0

7,22 1017

0,028

1

1,68 1017

0,075

0,2

8,95 1017

0,023

2

2,47 1017

0,052

0,4

1,18 1018

0,0215

3

3,22 1017

0,047

0,6

1,74 1018

0,0192

4

3,95 1017

0,04

0,8

3,4 1018

0,014

5

4,66 1017

0,038

0,9

6,62 1018

0,0082

6

5,33 1017

0,033

0,99

6 1019

0,00135

7

6 1017

0,031

-

-

-

9

7,22 1017

0,028

-

-

-

Vкр=8,33×10-3 см/с

0

2,54 1017

0,051

0

1,55 1018

0,02

1

4,68 1017

0,038

0,2

1,89 1018

0,018

2

6,6 1017

0,03

0,4

2,44 1018

0,016

3

8,32 1017

0,027

0,6

3,5 1018

0,013

4

9,86 1017

0,024

0,8

6,49 1018

0,0085

5

1,12 1018

0,022

0,9

1,2 1019

0,0055

7

1,36 1018

0,0205

0,99

9,3 1019

0,00088

8

1,46 1018

0,02

-

-

-

9

1,55 1018

0,02

-

-

-

Vкр=2,5×10-2 см/с

0

1,8 1018

0,019

0

2,31 1018

0,0157

1

2,08 1018

0,017

0,2

2,42 1018

0,0156

2

2,2 1018

0,016

0,4

2,58 1018

0,015

3

2,26 1018

0,0158

0,6

2,82 1018

0,014

5

2,3 1018

0,0157

0,8

3,29 1018

0,0137

7

2,31 1018

0,0157

0,9

3,83 1018

0,012

9

2,31 1018

0,0157

0,99

6,36 1018

0,0086